タングステンプローブは主に、高硬度、高弾性率、優(yōu)れた信頼性、機(jī)械的安定性を備えた、純粋なタングステンまたはレニウムタングステンおよびその他のタングステン材料で作られたプローブを指します。このようなプローブは、主にウェーハ検査、またはLED、LCD、その他のチップの検出に使用されます。チップを損傷することは容易ではありません。
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http://www.tungsten-carbide.com.cn/Japanese/index.html
非常に鋭い先端、弧、プラットフォームなど、さまざまな尖った形狀のタングステンプローブがあります。針先の範(fàn)囲はミクロンからナノメートルです。針先の最小曲率半徑は50nmまで制御できます。コーンの滑らかさはRa0.25以下に達(dá)することがあります。プローブ全體を全體または一部にニッケル、スズ、金などでメッキすることができます。チップは、曲げ成形やスロットなどの特定の処理を行うことができます。タングステンプローブの直徑の範(fàn)囲は0.076?1.2 mm、長さの範(fàn)囲は15?300 mm、針の先端の範(fàn)囲は0.08?50 mmです。
