高純鎢粉是指純度至少在99.99%以上的鎢粉，可用于特殊耐高溫器件、超大規模集成電路、半導體型晶體管中。
化學成份
高純鎢粉的鎢元素含量可以是99.99%~99.999%，各種雜質元素含量總和應控制在（0.1～1000）×10-12之間。
制品
高純鎢條、鎢棒、鎢電極、鎢絲，高純鎢片、鎢板，純鎢及鎢鈦濺鍍靶材等。
用途
1. 可制作有著特殊要求的耐高溫器件；
2. 用于精密合金鑄造領域的純鎢元素添加；
3. 高純鎢粉及其硅化物可用于超大規模集成電路作為電阻層、擴散阻擋層等；
4. 在金屬氧化物半導體型晶體管中作為門材料及連接材料等。
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